




特種氣體的介紹
主要生產(chǎn)工序包括氣體合成、氣體純化、氣體混配、氣瓶處理、氣體充裝、氣體分析檢測。氣體合成是將原料在特定壓力、溫度、催化劑等條件下,通過化學(xué)反應(yīng)得到氣體粗產(chǎn)品。氣體純化是通過精餾、吸附等方式將粗產(chǎn)品精制成更高純度的產(chǎn)品。
應(yīng)用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導(dǎo)體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110余種單元特種氣體,其中常用的有20~30種。

CO2原料氣中包含的大量烴、硫類雜質(zhì)傳統(tǒng)精餾無法去除,電子特種氣體,本公司經(jīng)過多年潛心研究和多項(xiàng)實(shí)驗(yàn),高純度特種氣體,研發(fā)出的多元精餾添加劑打破了雜質(zhì)共沸而無法除去的技術(shù)難題,安徽特種氣體,使用精餾代替粗脫硫、水解、精脫硫、脫烴、二次脫水等多種工段,較傳統(tǒng)工藝一次性投資降低 50%。用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。

特種氣體系統(tǒng):
主管路系統(tǒng)的設(shè)計(jì)
在確定好氣體房和用氣點(diǎn)以后,主管路系統(tǒng)一般遵循管道線路1短,拐彎少,布置緊湊合理,給人簡單美觀的感覺。輸送系統(tǒng)的數(shù)量和管徑的大小一般根據(jù)機(jī)臺用氣點(diǎn)的多少和流量大小確定,基本都采用小管徑輸送(1/4-3/4)而且多設(shè)計(jì)了備用系統(tǒng)。由于氣體本身的危險(xiǎn)性,許多地方采用把管道鋪設(shè)在電纜橋架里,高純度特種氣體,對于穿墻或穿過夾道的地方,周圍有危險(xiǎn)源和經(jīng)常有危險(xiǎn)作業(yè)的地方,露天的地方管道一般布置在全封閉的橋架里。


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